【演習問題＆解答・解説付きの講演録！】

２日間セミナーを講演録として、話し言葉でなんと書籍化！まるで受講しているかのように学べます。
ベテラン教育者の指導方法や、若手作業者の教育としても最適です。　　（（　PowerPointスライド約350枚も収録　））

水谷旬　新日本空調(株) 技術本部 技術企画部 担当副部長

【資格・専門】
　工学修士（金属分析化学専攻）
　環境計量士（騒音・振動関係）
　エネルギー管理士
　クリーンルームに関する研究・開発全般（特に工業用クリーンルーム）
【経歴・活動】
　1980年代より、主にクリーンルームに関する研究・開発に従事。
　現在は、長年の成果品の情報整備と活用、技術営業、社内外教育、学協会活動、講演等を行っている。
　ＪＡＣＡ（日本空気清浄協会）の指針原案作成委員会などに参加。クリーンテクノロジー誌 編集委員。

※2011年12月22日増刷しました。

目次

＜著者のことば＞ 
　これは、2008年秋に行った2日間の講演記録である。講演当日も、これを著わす際も、最も心を砕いたのは、“教科書”以上のものを、ということである。それが実現しているか否かは読者の判断に委ねるが、講演・執筆中に筆者が考えていたのは以下のようなことである。 
　クリーンルーム、クリーンエリア、製品廻り等を対象とした“クリーン化技術”は、実際にはけっしてスマートなものではなく、“教科書”通りにはいかない泥臭くて苦労の多いものである。そこで、“教科書”にある基本的な事項や考え方をまず理解して、その上に実体験に基づいた“ノウハウやコツ”を可能な範囲で示し、少しでも読者のクリーン化業務の能率が上がるように心掛けた。 “やってみなければわからない”、“やってみてわかった”というような事の地道な積み重ねは、実はとても重要で、この部分が日常の円滑な管理や運用を支えていることが多い。つまり、ハード(機器や物)よりも、経験に裏打ちされたソフト(考え方やコンセプト)が優先されるべきで、したがって、そこに力点を置いて書いたつもりである。 
　理想的には、書物だけではなく、それを媒介として、著者（＝講演者）と視聴者が face to face で質疑応答も交えながら共に理解し合うのが一番良いと考えている。ぜひ、読者の皆様とは、どこかの会場でお会いしたいと思っている。 

2009年4月8日　さくら満開の頃に　水谷 旬

＜本書は以下のキーワードにわかりやすく触れています。＞

１．はじめに 

２．クリーンルームの基礎 
　クリーンルームの定義 
　一般室との違い 
　［演習1］清浄度のイメージ（その1） 
　［演習2］清浄度のイメージ（その2） 
　なぜ汚れる？ 
　よく使用される清浄度クラス 
　ISO清浄度クラス 
　ISO清浄度クラス線図 
　ISO清浄度クラス数値表 
　クリーンルームとは？ 
　クリーンルームの構造の一例 
　クリーンルームの用途種類・空気の流し方による種類・構造による種類 
　ICRとは？ 
　BCRとは？ 
　一方向流型クリーンルーム 
　非一方向流型クリーンルーム 
　ベイ方式、ボールルーム方式 
　ボールルーム方式，局所方式 
　垂直一方向流型クリーンルーム内の気流の流れ 
　換気回数とは？ 
　クリーンルームの発祥と、型式の変遷 

３．クリーンルーム内の汚染物質とは？ 
　クリーンルーム内の汚染物質とは？（制御対象の変遷）  

４．塵埃・ミスト  
　［塵埃］発塵・拡散機構・測定方法 
　なぜ、まだ塵埃なのか？ 
　エアロゾルの粒径 
　［演習3］空気中での微小粒子の移動 
　クリーンルーム停止後の室内の塵埃の流れ 
　流線に乗らない塵埃の例 
　カスケードインパクタの概略構造 
　微小ミストの蒸発時間 
　クリーンルーム内の塵埃 
　垂直一方向流型クリーンルームの立ち上がり時の塵埃挙動 
　垂直一方向流型クリーンルームでの、瞬時・点発塵による塵埃拡散 
　点発塵源から瞬時発塵した場合の、塵埃拡散範囲（汚染範囲） 
　気流が曲がる場合の、塵埃の挙動・拡散 
　垂直一方向流清浄領域内の、連続・点発塵による塵埃拡散 
　製品と人と製造装置の位置関係の一例 
　物からの発塵 
　クリーンルーム内で一般紙を破った場合の発塵状況 
　クリーンルーム内で一般事務用の紙ファイルをはたいた場合の発塵状況 
　衣類の摺動による発塵量の測定 
　衣類の摺動による発塵量 
　布を通した発塵量の測定 
　各種摺動による発塵 
　製造装置内の稼働機構からの発塵 
　人からの発塵 
　素手たたきによる発塵 
　クリーン手袋は上か下か？（クリーン手袋が上の場合） 
　クリーン手袋は上か下か？（クリーン手袋が下の場合） 
　クリーン手袋は上か下か？（その他） 
　クリーンスーツ袖口からの発塵 
　クリーン手袋を揉むことによる発塵 
　クリーン手袋ではじくことによる発塵 
　クリーンスーツ内の圧力測定端の取付け 
　脚屈伸による、クリーンスーツ内の圧力変動 
　脚屈伸による、クリーンスーツを通しての発塵 
　定位置腕振りによる発塵状況 
　［演習4］人体からの塵埃拡散範囲 
　足踏みによる発塵状況 
　クリーン手袋直しによる発塵状況 
　咳による唾液ミストの発生・飛散状況と、その抑制 
　クリーンルーム内作業者からの発塵機構 
　塵埃の測定方法 
　塵埃吸引端　サンプリング（等速吸引） 
　光散乱式　塵埃（個数）濃度計 

５．ケミカル汚染物質 
　［ケミカル汚染物質］アウトガス・拡散機構・測定方法 
　アウトガスとは？ 
　では、空気中だけを調べておけばよいのか？ 
　ケミカル汚染 
　どんな悪影響があるのか？ 
　ケミカル汚染物質の種類と悪影響（その1、2） 
　AMCsの分類 
　AMCsによる悪影響の例 
　ケミカル汚染物質はどのように広がるか？ 
　ケミカル汚染物質の状況を知るために → 空気分析を行う 
　AMCsの濃度表示 
　対象物質の分類 
　捕集方法と分析方法の組合せ 
　［参考］有機物の沸点による分類（WHOによる） 
　インピンジャー捕集 
　カラム捕集 
　基板捕集法 
　基板捕集法（拡散暴露法（水平暴露）） 
　基板捕集法（拡散暴露法（垂直暴露）） 
　基板捕集（強制暴露法）（その1、2） 
　ウェハー搬送容器の一例 
　WTD-GC-MS 
　WTD-GC-MS（概念図） 
　基板捕集：破砕片の作り方 
　基板表面への、有機成分の選択的吸着 
　フィルタ捕集 
　キャニスター捕集 
　機器分析 
　イオンクロマトグラフ法 
　ガスクロマトグラフ-質量分析法 
　高速液体クロマトグラフィー 
　誘導結合プラズマ-質量分析法 
　分析に関する紛らわしい名称 
　ケミカル汚染物質の把握と対策　 

６．菌類 
　［菌類］基本的な測定方法 
　スリットサンプラー 
　ピンホールサンプラー 
　多孔板サンプラー 
　アンダーセン・サンプラー 
　流線に乗らない塵埃の例 
　カスケードインパクタの概略構造 
　（遠心）衝突法 
　インピンジャー法 
　衝突法による捕集の一例 
　濾過法 
　落下菌検査法（落下法） 
　ステンレス鋼板法 
　最大許容粒子数、及び最大微生物数(FDA,及びEU-GMP) 
　無菌製剤工程エリアの生菌数 
　EUにおける許容限度 
　培地と培養条件の例 
　［菌類］落下法の一例 
　落下法の一例（実験例）（その1、2） 
　寒天円柱法 
　ローダック・プレート法 
　スワブ法 
　洗出し法 

７．塵埃の除去 
　［塵埃］粒子フィルタの構造と仕組み（捕集原理） 
　HEPA/ULPAフィルタはいつ取り替えているのか？ 
　［塵埃］HEPAフィルタによる、微小大気塵捕集 
　粒子フィルタ繊維の形状 
　粒子フィルタの捕集原理 
　粒子フィルタの性能（その1） 
　粒子フィルタの捕集機構（その1～3） 
　粒子フィルタの性能（その2） 
　各種用語辞典による、HEPA/ULPAフィルタの解説 
　粒子フィルタ透過率の実例 

８．ケミカル汚染物質の除去 
　［ケミカル汚染物質］フィルタの構造と仕組み（捕集原理） 
　イオン交換型繊維・・・酸性ガス・塩基性ガス・ドーパントの除去例 
　吸着剤 
　吸着剤（活性炭）による対象ガスの物理的捕集 
　吸着剤＋反応物質の担持 
　吸着剤（活性炭）＋反応物質の担持による、対象ガスの物理的＋化学的捕集 
　吸着剤（活性炭）＋反応物質の担持させた、各種ペレット 
　［演習5］ケミカル汚染物質測定時の“ブランク”とは何か？ 
　［演習6］クリーンルーム系統内のケミカル汚染物質濃度 
　［演習7］CFの”破過（はか）”とは何か？ 

９．イオナイザ  
　イオナイザについて 
　イオナイザの種類と原理 
　イオナイザ（微弱X線式） 
　従来のコロナ放電式イオナイザの問題点 
　電極材質変更による解決 
　シースエアによる解決 

１０．作業者管理・教育 
　クリーンルーム内の作業員管理と作業員教育 
　クリーンルームの4原則 
　クリーンルーム内作業者のクリーンスーツの誤着用 
　クリーンスーツを着用した人の動作・位置について 
　作業者の認識について 
　規律と行動 
　クリーンルーム差圧性能 
　作業者への教育・訓練項目（その1～3） 
　作業者への教育・訓練項目［モニタリングと是正行動］、［安全］ 
　作業者への教育・訓練方法 
　クリーンスーツの選定方法 
　クリーンスーツのフィルタ効率と体操発塵量との関係 
　クリーンスーツ選定の要件 
　クリーンスーツ洗濯の頻度 
　クリーンスーツの劣化 
　クリーンスーツなど、について 
　クリーンスーツについて 
　エアシャワーについて、その他　　クリーンルームへの持ち込みについて 

１１．対策 
　塵埃／ケミカル汚染物質の扱い方（対策） 
　対策のために、まず対象を捉える（測定の実際） 
　測定の実際（塵埃（気流）） 
　模擬作業による汚染状況の把握 
　純水可視化装置による可視化の状況 
　塵埃に起因する汚染機構の解明 
　レーザシートと撮影の位置 
　可視化システムの運用 
　模擬製造装置廻りの気流 
　クリーンベンチ内の隅角部の気流可視化 
　［クリーンベンチ＋机］の状態の違いによる、ベンチ内の気流の変化 
　製品にとってより良い環境のために 
　対策の要点（その1～3） 

１２．製造環境改善事例 
　対策（改善）事例 
　対策（改善）事例（塵埃（気流）） 
　模擬手術の状況 
　手術室の気流改善（その1、2） 
　模擬機器または作業台廻りの気流性状改善（その1、2） 
　［演習8］クリーンベンチ(CB)奥の滞留解消 
　［演習9］CB内テーブルの改善 
　［演習10］狭い領域の清浄化 
　対策（改善）事例（ケミカル汚染物質） 
　汚染物質への対策方法 
　ケミカル汚染制御に対する具体的な技術 
　分子汚染対策項目 
　クリーンルームシステムにおける検討対象部位 
　クリーンルーム構成材の選定 
　対策（改善）事例（生物学的清浄度） 
　菌類抑制の一例 
　抗菌FCU（殺菌の原理） 
　抗菌FCUの効果（その1、2） 
　改善実績例 
　対策のまとめ 

１３．清掃  
　クリーンルームの清掃 
　清掃の種類と基本 
　清掃の方法 
　市販ワイパーの例 
　クリーンルームのクリーニング（清浄化剤と器具）（その1～5） 
　クリーンルームのクリーニング（清掃の分類）・・・簡易清掃・普通清掃 
　クリーンルームのクリーニング（清掃の分類）・・・精密清掃・記録 
　クリーンルームのクリーニング（清掃の分類）・・・真空清掃 
　クリーンルームのクリーニング（清掃の分類）・・・湿式清掃 
　クリーンルームのクリーニング（清掃の分類）・・・モップ清掃 
　クリーンルームのクリーニング（清掃の分類）・・・清拭清掃 
　クリーンルームのクリーニング（特定表面の清掃）・・・床、床下 
　クリーンルームのクリーニング（特定表面の清掃）・・・壁、扉、窓、垂直表面、吸込口 
　クリーンルームのクリーニング（特定表面の清掃）・・・天井、照明器具、吹出口、イス、家具、脚立 
　クリーンルームのクリーニング（特定表面の清掃）・・・テーブル、その他の重要水平表面、製造装置 
　クリーンルームのクリーニング（特定表面の清掃）・・・カート、運搬車、ロッカー、キャビネット、収納容器 
　クリーンルームのクリーニング（特定表面の清掃）・・・ゴミ容器、マット、粘着性床材 
　クリーンルームのクリーニング（注意点）・・・更衣室、搬送領域 
　クリーンルームのクリーニング（注意点）・・・クリーンルーム施設全体の完全清掃 
　クリーンルームのクリーニング（注意点）・・・緊急時の清掃 
　各種製造装置クリーニング（概要） 
　各種製造装置クリーニング・・・搬入時 
　各種製造装置クリーニング・・・据付時 
　各種製造装置クリーニング・・・メンテナンス・修理時 
　クリーンルーム設備・備品の清掃（その1～4） 

１４．クリーンルーム関連規格の動向
　クリーンルーム関連規格の動向 
　クリーンルーム関連規格の相関 
　ISO14644、14698規格 
　JIS規格、JACA指針 
　表面清浄化のコンセプト 
　清浄化の対象範囲（概要） 
　汚染とその原因（概要） 
　ISO14698 

１５．クリーンルーム性能評価項目  
　クリーンルーム性能評価項目 
　性能評価方法具体例 
　粒子濃度 
　粒子計測試験の頻度 
　標準の清浄度クラス評価方法（その1～4） 
　逐次サンプリング法による清浄度の評価方法（その1、2） 
　気流速度と風量 
　気流・風速試験 
　測定方法 
　風量 
　気流状態（その1、2） 
　気流状態（例：わずかな斜流） 
　角錐台型吹出口からの吹出し気流 
　フィルタリーク 
　フィルタリークの原因 
　フィルタリーク試験 

１６．クリーンルームのエネルギー  

１７．クリーンルーム参考文献  
　1.クリーンルーム全般に関するもの 
　2.エアロゾル工学に関するもの 
　3.バイオクリーンに関するもの 
　4.用語辞典類 
　5.流体力学に関するもの 
　6.クリーンルームの規格 
　7.その他（主に論文・規格類） 
　　クリーンルーム全般 
　　エアロゾル・塵埃 
　　バイオクリーン 
　　計測全般 
　　微粒子、気流可視化 
　　規格類 

１８．講師（著者）から最後に  

【そして最後に復習もできる特典！※書籍の巻末に付いています。】  

●演習問題１～１０ 

●演習問題の解答と詳細な解説


【参考：2008年10月セミナー時の講演項目】
＜趣旨＞ 
　この講座は、クリーンルーム業務に関わるあらゆる方々を対象としています。特に事前の知識は必要ありません。専門用語は途中で説明していきます。内容は基礎から説き起こして、汚染対策や清浄環境維持などの応用面にまで解説を進めていきます。全体を通してビジュアル教材（動画・図・表・写真＋音声）を多く使用し、かつ、成功実例も示しながら、理解を助けます。 
　また、「発塵・塵埃拡散・気流可視化動画」のＣＤを配布いたします。（※注：当時のセミナー参加者だけの特典です。）こちらも、参考にしてください。関連する国内外規格の最新動向や、従来から最近までの各種参考文献も表紙絵入りで紹介します。 

１．クリーンルームとはそもそも何か？ 
　1.1 定義 
　1.2 清浄度を具体例で理解する 
　1.3 分類・種類 
　1.4 歴史 

２．クリーンルーム内の汚染物質とは？  

３．塵埃について知る！ 
　3.1 基本的な性質 
　　3.1.1 気流に乗るとき、乗らないとき 
　　3.1.2 停止距離と終末沈降速度 
　　3.1.3 拡散はどのように？ 
　3.2 物や運動機構からの発塵 
　3.3 人からの発塵 
　　3.3.1 各種衣類（含、クリーンスーツ）からの発塵 
　　3.3.2 皮膚との関わり 
　　3.3.3 首廻りの発塵 
　　3.3.4 定位置での発塵 
　　3.3.5 歩行発塵 
　　3.3.6 どの程度広がるのか？（拡散範囲） 
　　3.3.7 スーツ内の圧力変動 
　　3.3.8 一定の運動による発塵量 
　　3.3.9 クリーンスーツ選定の考え方 
　　3.3.10 洗濯頻度は？ 
　3.4 具体的な測定方法 

４．ケミカル汚染物質について知る！   
　4.1 分類と表現の仕方 
　4.2 発生原因と悪影響 
　4.3 具体的な測定（捕集＋分析）方法 

５．菌類について知る！（基本的な測定方法）  

６．塵埃／ケミカル汚染物質への対策   
　6.1 まず現状把握　→　見える化（可視化）が有効 
　6.2 粒子フィルタ／ケミカルフィルタの原理 
　6.3 普遍的な対策コンセプト 
　6.4 除去／抑制／回避のスキル 
　6.5 改善事例から学ぶ 

７．作業員管理と作業員教育   　
　7.1 守るべき原則 
　7.2 正しい服装 
　7.3 人の位置・動作について 
　7.4 教育の要点／注意点 

８．クリーンルームの清掃   
　8.1 種類 
　8.2 各部位の清掃方法･頻度 
　8.3 クリーンルーム運転停止時の塵埃挙動 

９．クリーンルームの国内外関連規格の動向   
　9.1 ＩＳＯ規格、ＪＡＣＡ指針、ＪＩＳ規格、などの現状 
　9.2 最新動向 

１０．参考文献紹介  
　　　初級～上級者向けまで、主要なものを表紙絵と共に紹介