| 発刊日 | 2009年8月17日 |
|---|---|
| 定価 | 本体47,400円＋税 |
| 頁数 | 428頁 |
| 造本 | B5 |
| 発行所 | 技術教育出版社 |
| ISBN | ISBN978-4-907837-18-1 |
| 発行 | （株)エヌ・ティー・エス |
| 問い合わせ |
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| 監修 |
編 集 多賀 康訓・齋藤 文良 執筆者 計24名 |
| 編集委員 |
編 集 多賀 康訓・齋藤 文良 執筆者（敬称略） 計24名 多賀 康訓 中部大学 朝日 一 大阪大学 中川 茂樹 東京工業大学 宮崎 誠一 広島大学 一杉 太郎 東北大学・KAST 福井 孝志 北海道大学 鈴木 基史 京都大学 財満 鎮明 名古屋大学 浅野 種正 九州大学 高梨 弘毅 東北大学 小倉繁太郎 神戸芸術工科大学 唐 健 オプトラン 馬場 茂 成蹊大学 加地 徹 豊田中研 北上 修 東北大学 江刺 正喜 東北大学 水崎純一郎 東北大学 川村 純一 東北大学 平本 昌宏 自然科学研究機構 内田 聡・瀬川 浩一 東京大学 宇野 毅・田畑 仁 東京大学 北川 雅俊 パナソニック |
| 趣旨 |
【本書の特徴】 ○電池（二次電池、燃料電池、太陽電池）・ｴﾈﾙｷﾞｰ・ｴﾚｸﾄﾛﾆｸｽに必須技術 ○薄膜技術を実学として捉え実用薄膜プロセスとして理解する新しい考え方を提示。 ○実用化を想定して、薄膜作製プロセス（第一編）、発現する機能と応用（第二編）、実用を視野にいれた薄膜作成実例を紹介し、詳しく解説（第三編）。 ○最先端技術を先導する第一線の研究開発者により実用薄膜による機能創製から応用展開まで広く網羅。 |
発刊にあたって
本書ではまず薄膜を実学として捉え実用薄膜プロセスとして理解する新しい考え方を提示する。つまり、最も重要な薄膜プロセスはバルク材料の分解、輸送、成長であり、その素過程について述べる。このバルクの薄膜素過程の研究開発も最終的な薄膜の実用化を想定する必要がある。つまり、作製された薄膜の機能、実使用時の耐久性および付加価値と費用対効果を考慮した生産性をも視野に入れた薄膜作製技術開発が不可欠である。 全体の構成は、薄膜作製のプロセスの中心に第1編を構成し、発現する機能、応用を第２編に集約した。また、第３編には実用を視野にいれた薄膜作成実例を紹介し、詳しく解説した。 本書の著者はいずれも現在最先端技術を先導する第一線の研究開発者であり実用薄膜による機能創製から応用展開までを広く網羅する内容とした。従って、本書は実用薄膜プロセスの基礎的考え方を学ぼうとする初心者の入門書であるとともに研究開発の現場で日々実体験され不可解な現象に遭遇されているベテラン技術者の方々にも十分応えうる内容であると確信している。 「はじめに」より一部抜粋／2009年7月 齋藤 文良，多賀 康訓
書籍・DVDの内容
第１編 創製技術 機能薄膜プロセス技術 真空蒸着法 分子線エピタキシ法 スパッタ技術 CVD PLD 第２編 物性と構造 機能構造の成長 形態制御機能薄膜 半導体薄膜の物性と構造 誘電体薄膜の物性と構造 磁性薄膜の物性と構造 光学薄膜の物性と構造 力学薄膜の物性と構造 界面制御 第３篇 応用技術・開発事例 機能薄膜応用―研究開発法と事例紹介 化合物半導体デバイスへの応用 磁気メモリーデバイスへの応用 センサデバイスへの応用 固体酸化物燃料電池への応用 リチウムイオン電池への応用 有機薄膜太陽電池への応用 機能性薄膜と色素増感太陽電池への応用 表面機能化デバイスへの応用 バイオデバイスへの応用 FPDへの応用―PDPを事例として
